Phún xạ phần 3 ppsx
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1.18 MB, 8 trang )
21
21
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
ả
ả
i thi
i thi
ệ
ệ
n vi
n vi
ệ
ệ
c s
c s
ử
ử
d
d
ụ
ụ
ng bia nh
ng bia nh
ờ
ờ
thay đ
thay đ
ổ
ổ
i h
i h
ì
ì
nh d
nh d
ạ
ạ
ng c
ng c
á
á
c nam
c nam
châm (ti
châm (ti
ế
ế
p)
p)
22
22
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Magnetron không cân b
Magnetron không cân b
ằ
ằ
ng
ng
23
23
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
C
C
á
á
c lo
c lo
ạ
ạ
i magnetron
i magnetron
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Magnetron c
Magnetron c
á
á
c lo
c lo
ạ
ạ
i kh
i kh
á
á
c nhau cho ph
c nhau cho ph
é
é
p thay đ
p thay đ
ổ
ổ
i c
i c
á
á
c t
c t
í
í
nh ch
nh ch
ấ
ấ
t t
t t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng c
ng c
ủ
ủ
a ngu
a ngu
ồ
ồ
n
n
v
v
ớ
ớ
i c
i c
á
á
c hi
c hi
ệ
ệ
u
u
ứ
ứ
ng đư
ng đư
ợ
ợ
c t
c t
ạ
ạ
o ra như sau
o ra như sau
:
:
Unbalance (Không cân b
Unbalance (Không cân b
ằ
ằ
ng): B
ng): B
ằ
ằ
ng c
ng c
á
á
ch thay đ
ch thay đ
ổ
ổ
i g
i g
ó
ó
c ra c
c ra c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c đư
c đư
ờ
ờ
ng s
ng s
ứ
ứ
c t
c t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng trong c
ng trong c
á
á
c magnetron không cân b
c magnetron không cân b
ằ
ằ
ng c
ng c
ó
ó
th
th
ể
ể
đi
đi
ề
ề
u ch
u ch
ỉ
ỉ
nh s
nh s
ố
ố
lư
lư
ợ
ợ
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
đư
đư
ợ
ợ
c
c
tho
tho
á
á
t ra,
t ra,
do đ
do đ
ó
ó
, c
, c
ả
ả
m
m
ứ
ứ
c đ
c đ
ộ
ộ
b
b
ắ
ắ
n ph
n ph
á
á
ion đ
ion đ
ố
ố
i v
i v
ớ
ớ
i m
i m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng đư
ng đư
ợ
ợ
c t
c t
ạ
ạ
o th
o th
à
à
nh.
nh.
Balance (Cân b
Balance (Cân b
ằ
ằ
ng): D
ng): D
ù
ù
ng đ
ng đ
ể
ể
gi
gi
ả
ả
m thi
m thi
ể
ể
u lư
u lư
ợ
ợ
ng năng lư
ng n
ăng lư
ợ
ợ
ng b
ng b
ổ
ổ
sung cho m
sung cho m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng
ng
m
m
ọ
ọ
c trên đ
c trên đ
ế
ế
v
v
à
à
t
t
ạ
ạ
o ra đi
o ra đi
ề
ề
u ki
u ki
ệ
ệ
n b
n b
ắ
ắ
n ph
n ph
á
á
ion th
ion th
ấ
ấ
p.
p.
Field Strength
Field Strength
(
(
Cư
Cư
ờ
ờ
ng đ
ng đ
ộ
ộ
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng): T
ng): T
hay đ
hay đ
ổ
ổ
i cư
i cư
ờ
ờ
ng đ
ng đ
ộ
ộ
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng đ
ng đ
ể
ể
đi
đi
ề
ề
u ch
u ch
ỉ
ỉ
nh
nh
cư
cư
ờ
ờ
ng đ
ng đ
ộ
ộ
v
v
à
à
hi
hi
ệ
ệ
u đi
u đi
ệ
ệ
n th
n th
ế
ế
ph
ph
ó
ó
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n. C
n. C
ó
ó
th
th
ể
ể
s
s
ử
ử
d
d
ụ
ụ
ng
đ
ng đ
ể
ể
b
b
ù
ù
tr
tr
ừ
ừ
v
v
ớ
ớ
i thay đ
i thay đ
ổ
ổ
i đi
i đi
ệ
ệ
n
n
á
á
p
p
gây ra b
gây ra b
ở
ở
i hi
i hi
ệ
ệ
n tư
n tư
ợ
ợ
ng ăn mòn bia trong qu
ng ăn mòn bia trong qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh ph
nh ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
.
.
Magnetic Field Shape (Phân b
Magnetic Field Shape (Phân b
ố
ố
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng): T
ng): T
hay đ
hay đ
ổ
ổ
i phân b
i phân b
ố
ố
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng trong không
ng trong không
gian gây ra s
gian gây ra s
ự
ự
bi
bi
ế
ế
n đ
n đ
ổ
ổ
i tương t
i tương t
á
á
c gi
c gi
ữ
ữ
a plasma v
a plasma v
ớ
ớ
i anode nh
i anode nh
ằ
ằ
m đi
m đi
ề
ề
u ch
u ch
ỉ
ỉ
nh
nh
á
á
p su
p su
ấ
ấ
t l
t l
à
à
m
m
vi
vi
ệ
ệ
c c
c c
ự
ự
c ti
c ti
ể
ể
u.
u.
24
24
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
l
l
ấ
ấ
p đ
p đ
ầ
ầ
y c
y c
á
á
c rãnh,
c rãnh,
bư
bư
ớ
ớ
c trong m
c trong m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Năng lư
Năng lư
ợ
ợ
ng c
ng c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c nguyên t
c nguyên t
ử
ử
t
t
ớ
ớ
i b
i b
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t
t
m
m
à
à
ng ~ 1
ng ~ 1
–
–
15 eV.
15 eV.
C
C
á
á
c nguyên t
c nguyên t
ử
ử
v
v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u m
u m
à
à
ng b
ng b
ị
ị
b
b
ứ
ứ
t ra do
t ra do
qu
qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh b
nh b
ắ
ắ
n ph
n ph
á
á
b
b
ở
ở
i c
i c
á
á
c ion Ar
c ion Ar
+
+
s
s
ẽ
ẽ
l
l
ạ
ạ
i t
i t
á
á
i
i
l
l
ắ
ắ
ng đ
ng đ
ọ
ọ
ng sau khi truy
ng sau khi truy
ề
ề
n b
n b
ớ
ớ
t đ
t đ
ộ
ộ
ng năng cho
ng năng cho
c
c
á
á
c nguyên t
c nguyên t
ử
ử
kh
kh
á
á
c trong m
c trong m
à
à
ng v
ng v
à
à
t
t
ì
ì
m đư
m đư
ợ
ợ
c
c
v
v
ị
ị
tr
tr
í
í
c
c
ó
ó
l
l
ợ
ợ
i v
i v
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t n
ăng lư
t năng lư
ợ
ợ
ng.
ng.
Quãng đư
Quãng đư
ờ
ờ
ng t
ng t
ự
ự
do trung b
do trung b
ì
ì
nh c
nh c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c
c
nguyên t
nguyên t
ử
ử
t
t
ớ
ớ
i đư
i đư
ợ
ợ
c t
c t
í
í
nh theo công th
nh theo công th
ứ
ứ
c th
c th
ự
ự
c
c
nghi
nghi
ệ
ệ
m:
m:
L (cm) = 5x10
L (cm) = 5x10
-
-
3
3
/P (torr)
/P (torr)
25
25
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Vi c
Vi c
ấ
ấ
u tr
u tr
ú
ú
c c
c c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c m
c m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
26
26
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Thi
Thi
ế
ế
t b
t b
ị
ị
ph
ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
trong công nghi
trong công nghi
ệ
ệ
p
p
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
27
27
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
á
á
c ưu đi
c ưu đi
ể
ể
m c
m c
ủ
ủ
a phương ph
a phương ph
á
á
p ph
p ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
T
T
ố
ố
c đ
c đ
ộ
ộ
m
m
ọ
ọ
c m
c m
à
à
ng cao
ng cao
Di
Di
ệ
ệ
n t
n t
í
í
ch c
ch c
ủ
ủ
a m
a m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng l
ng l
ớ
ớ
n, v
n, v
ớ
ớ
i đ
i đ
ộ
ộ
đ
đ
ồ
ồ
ng đ
ng đ
ề
ề
u cao
u cao
C
C
ó
ó
t
t
í
í
nh b
nh b
á
á
m d
m d
í
í
nh t
nh t
ố
ố
t gi
t gi
ữ
ữ
a c
a c
á
á
c v
c v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u m
u m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng v
ng v
à
à
đ
đ
ế
ế
nên c
nên c
ó
ó
th
th
ể
ể
thay đ
thay đ
ổ
ổ
i
i
ứ
ứ
ng su
ng su
ấ
ấ
t trong m
t trong m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng
ng
C
C
ó
ó
th
th
ể
ể
t
t
ạ
ạ
o m
o m
à
à
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
kim lo
kim lo
ạ
ạ
i,
i,
đi
đi
ệ
ệ
n môi hay b
n môi hay b
á
á
n d
n d
ẫ
ẫ
n
n
C
C
ó
ó
th
th
ể
ể
t
t
ạ
ạ
o m
o m
à
à
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
v
v
ớ
ớ
i c
i c
á
á
c v
c v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u h
u h
ợ
ợ
p ch
p ch
ấ
ấ
t th
t th
í
í
ch h
ch h
ợ
ợ
p
p
28
28
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
C
C
á
á
m ơn đã theo dõi
m ơn đã theo dõi
!!!
!!!
Mọi góp ý, bổ sung xin gửi đến:
Dr. Le Tuan
Hanoi University of Technology
Institute of Engineering Physics
Dept. of Electronic Materials
2
nd
Floor, C9 Building
1 Dai Co Viet Str., Hanoi, Vietnam
Mobile: 0912 560 536
E-mail:
