kính hiển vi điện tử
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1002.03 KB, 25 trang )
KÍNH HIỂN VI
ĐIỆN TỬ
Hai loại KHVĐT phổ biến nhất hiện nay :
Kính hiển vi điện tử
truyền qua
(Transmission Electron
Microscope - TEM)
Kính hiển vi điện tử
quét (Scanning
Electron Microscope -
SEM)
I/ Kính hiển vi truyền qua (TEM)
1 , Giới thiệu
Là thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật
rắn sử dụng chùm điện tử có năng
lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật
rắn mỏng và sử dụng thấu kính từ để
tạo ảnh với độ phóng đại lớn
2 , Cấu trúc và nguyên lý làm việc
Đối tượng sử dụng của TEM là chùm
năng lượng có năng lượng cao vì thế các
cấu kiện chính của TEM nằm trong cột
chân không siêu cao được tạo ra nhờ các
hệ bơm chân không ( bơm turbo, bơm ion)
Có 2 cách để tạo ra chùm điện tử
Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điện tử
Sử dụng súng phát xạ trường
Trong TEM sự điều khiển tạo ảnh thông
qua thấu kính từ . Thấu kính từ là nam
châm điện có cấu trúc là môt cuộn dây
cuốn trên lõi làm bằng vật liệu từ mềm .
II/ Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
KHVĐT lần đầu tiên đựoc phát triển bởi
Zwory Kin năm 1942
1 , Cấu tạo
Súng phóng điện tử hướng ở dưới lên
Ba thấu kính tĩnh điện
Hệ thống các cuộn quét điện từ
Ống nhân quang điện
2 , Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh
trong SEM
Điện tử được phóng ra từ súng phóng
điện tử sau đó được tăng tốc và hội tụ
thành một chùm điện tử hẹp nhờ hệ thống
thấu kính từ
Một số hình ảnh thu được thông qua SEM
Sơ đồ nguyên lý làm việc
KHV quét đầu dò (SPM)
SPM là loại KHV có thể nhìn thấy ở mức
nanô . Nó có thể chụp được hình của vi
rút vào cỡ 100 nanômet ma không cần
dùng tới chân không
Nguyên lý hoạt động :
Quét một 1 mũi dò nguyên tử trên 1 bề
mặt mẫu ở khoảng cách nguyên tử . Hình
ảnh sẽ được phóng đại lớn trên máy tính
với hệ số phóng đại lớn
