Mở
đầu ..................................................................................................................
1
Chương
1

.............................................................................................................. 4

Giới

thiệu

tổng

quan ............................................................................................. 4
1.1.
Cấu
tạo
và
tính
chất
điện .................................................... 4

của

polymer

1.2.
Các
loại
polymer

điện .............................................................................. 6
1.2.1.
Polymer
dẫn
điện
vào .............................................. 6

do

chất

1.2.2.
Polymer
dẫn
do
tạp ............................................................... 7

dẫn

phụ

quá

dẫn

gia
trình

thêm
pha


1.2.3.
Polymer
dẫn
thuần ............................................................................... 7

điện

1.3.
Ứng
dụng
của
điện .................................................................... 8

dẫn

1.4.
Phương
pháp
chế
tạo
lớp ................................................. 8

OLED

polymer
cấu

trúc


đa

1.4.1.
Cấu
tạo
OLED ...................................................................................... 8

của

1.4.2.
Các
phương
pháp
OLED ............................................................. 11

tạo

chế

1.5.
Cơ
chế
phát
quang
OLED...................................................................... 15

của

1.6.
Vật

liệu
dùng
để
OLED .................................................................. 17

chế

tạo

1.7.

tính

của

Khảo

sát

các

đặc

OLED ................................................................. 23 1.8. Cải thiện hiệu suất
của OLED ...................................................................... 29
Chương
2.
nghiệm ..................................................................................... 32
Trang 1


Thực


LVTh.S

Mở Đầu

2.1. Nguyên tắc hoạt động
không .............................. 32

của

thiết

2.2.
Các
phương
pháp
được
mẫu .............................................. 33

bị

dùng

bốc

bay

chân


để

chế

tạo

2.2.1.
Bốc
bay
chùm
tử........................................................................... 33

tia

2.2.2.
Phương
pháp
nhiệt ....................................................................... 34

điện

bốc

bay

2.2.3.
Phương
pháp
quay

tâm ................................................................... 35

phủ

2.3.
Các
phương
pháp
đạc .............................................................................. 36
2.3.1.
Phương
pháp
đo
cực ............................................ 36

điện

2.3.2.

đo

Phép

hóa

ly
đo

bằng


các

phổ

điện
tổng

trở ................................................................................. 37

2.3.3.
Phổ
tán
xạ
Raman .......................................................................... 37

Micro-

2.3.4.
Phổ
quang ....................................................................................... 37

huỳnh

2.3.5.
Nhiễu
xạ
X .......................................................................................... 38

tia


2.4.
Trình
tự
chế
mẫu .................................................................................... 40

tạo

2.4.1.
Quá
trình
chế
tạo
(ITO).................................................... 40
2.4.2.
Quá
trình
chế
PVK+CdSe ...................... 43

tạo

màng

điện
PVK

cực
và


anode
PVK+TiO2,

2.4.3. Quá trình chế tạo màng MEH-PPV và MEH-PPV+TiO 2
........................ 44

Trang 2


Chương 3. Kết quả và thảo
luận ......................................................................... 46

Trang 3


LVTh.S

Mở Đầu

MỞ ĐẦU
Ngày nay khoa học và công nghệ đã đem lợi ích, cuộc sống tiện nghi
của con người lên một tầm cao mới. Các sản phẩm được chế tạo ngày càng
đạt đến mức độ tinh xảo với trình độ công nghệ cao và ngày càng đáp ứng
nhiều hơn nhu cầu của con người, đặc biệt ngành công nghệ nano đã và
đang tạo ra các sản phẩm công nghệ thông minh hơn, thân thiện với môi
trường, tiết kiệm năng lượng cũng như công sức lao động nhiều do đó chi
phí cũng ít tốn kém hơn và mang đến hiệu quả kinh tế cao hơn.
Hiện tượng điện huỳnh quang của chất polymer xuất hiện lần đầu
tiên vào năm 1963, khi đó người ta thí nghiệm bằng cách nối điện cực
anode (ITO) và điện cực cathode (Ag) với lớp đệm ở giữa làm bằng chất

Anthracence [1]. Sau đó, người ta đã chế tạo thành công các polymer dẫn
điện trên cơ sở pha tạp các dẫn xuất khác nhau vào chất polymer athracence
để làm tăng khả năng dẫn điện. Sự kiện này đã mở ra khả năng nghiên cứu
mới về vật liệu bán dẫn hữu cơ trên cả hai lĩnh vực nghiên cứu cơ bản và
ứng dụng trong thực tế. Năm 1980, nhóm Tang và Vanskylyke đã công bố
các kết quả nghiên cứu về sự phát quang của họ vật liệu Alqs được dùng
làm lớp màng phát quang trong các cấu trúc diode phát quang hữu cơ
(OLED)[2]. Bằng các polymer kết hợp với PPP để tạo ra sự phát xạ ra ánh
sáng màu xanh da trời vào năm 1990 của nhóm Bourroughres tại đại học
Cambride đã đưa các nghiên cứu về OLED trở thành một ứng dụng khoa
học mang tính thực tiễn cao. Từ các kết quả ban đầu, nhiều loại OLED với
cấu trúc khác nhau đã được tạo ra, ví dụ như xây dựng các cấu trúc 2 lớp
[3] gồm một lớp màng truyền lỗ trống HTL và một lớp màng truyền điện tử
ETL được kẹp giữa hai điện cực để cải thiện thêm một bước nữa việc thiết
kế các cấu trúc diode phát quang dựa trên các polymer bán dẫn được dùng
làm lớp màng phát quang có nhiều ưu điểm vượt trội như giá thành sản
xuất, diện tích phát quang rộng, cấu trúc đa dạng… do đó, chúng có khả
năng ứng dụng rộng rãi. Tuy vậy, nhược điểm lớn nhất của linh kiện hữu cơ
là hiệu suất phát sáng còn thấp, độ ổn định chưa cao, màu sắc phát ra chưa
Trang 4


gần với độ nhạy của mắt người. Người ta đã tìm nhiều cách để khắc phục,
chẳng hạn như thay đổi cấu trúc khác nhau, độ dày của các lớp màng, pha
tạp một số ion đất hiếm hay chất màu có khả năng thay đổi màu sắc của
ánh sáng phát ra [4], cùng với phương pháp xử lý bề mặt tiếp xúc
ITO/polymer nhằm tăng cường khả năng tiêm lỗ trống của ITO, cải thiện
khả năng tiêm điện tử của cathode[5,6,7].
Bên cạnh đó, người ta đang tập trung nghiên cứu cải thiện khả năng
phát sáng hay tìm cách tận dụng các ưu thế của hai nhóm vật liệu phát

quang vô cơ và hữu cơ. Theo đó, một số vật liệu tổ hợp giữa các polymer
phát quang và các tinh thể có cấu trúc nano như TiO 2, SiO2, CdSe… đã
được sử dụng. Thực nghiệm cho thấy khi các chất này được đưa vào bên
trong chất polymer thì hiệu suất phát quang cũng như các tính chất điện
được cải thiện rất nhiều. Để tiếp nối các nghiên cứu trên và bước đầu tìm
hiểu một cách có hệ thống về công nghệ chế tạo, ảnh hưởng của các thông
số công nghệ chế tạo đến các thông số đặc trưng của các diode phát quang
hữu cơ, chúng tôi đã chọn đề tài: “Nghiên cứu đặc trưng vôn-ampe (I-V)
phụ thuộc cấu trúc đa lớp của OLED” với các mục tiêu cụ thể là:
a) Về công nghệ:
Chế tạo màng PVK, MEH-PPV trên đế ITO bằng phương pháp quay ly
tâm và hóa hơi trong môi trường khí trơ, nâng cao công thoát cho ITO bằng
các phương pháp xử lý nhiệt, hóa học, vật lý và thích ứng cho PVK,
MEHPPV, phủ điện cực cathode Al, Ag bằng phương pháp bốc bay chân
không.
b) Về đặc trưng, tính chất:
Nghiên cứu độ dẫn và tính phát quang của PVK, MEH-PPV phụ thuộc
vào điều kiện công nghệ, khảo sát đặc trưng IV, quang huỳnh quang PL của
cấu trúc PVK/ITO, MEH-PPV/ITO dùng làm OLED.
Ngoài phần mở đầu, nội dung nghiên cứu của đề tài luận văn tốt nghiệp
được trình bày theo các chương như sau:
Chương 1: Giới thiệu tổng quan về vật liệu polymer dẫn điện và
diode phát quang hữu cơ (OLED).
Chương 2: Quá trình thực nghiệm.
Trang 5


LVTh.S

Mở Đầu


Chương 3: Kết quả và thảo luận.
Phần kết luận: Trình bày các kết quả nghiên cứu đạt được.

Trang 6


Chương 1
Giới thiệu tổng quan về vật liệu polymer dẫn điện và diode phát quang
hữu cơ (OLED)
1.1. Cấu tạo và tính chất của polymer dẫn điện:
Tính chất cách điện của hầu hết các loại polymer đã được ứng dụng trong
nhiều lĩnh vực khác nhau. Quan niệm về tính cách điện của polymer đã thay
đổi khi các loại polymer dẫn điện đã được tìm thấy. Do tỷ trọng nhẹ, dễ gia
công, độ bền cao, khả năng chống ăn mòn cao và có thể kéo thành sợi để tạo
thành dây dẫn điện, tạo nên các lớp màng mỏng hoặc cả các linh kiện điện tử.
Do đó, các vật liệu này đã thu hút sự quan tâm của các nhà nghiên cứu để đưa
chúng vào trong thực tế từ những ứng dụng trong công nghiệp, trong lĩnh vực
hóa học, vật lý chất rắn đến điện hóa. Sự trao đổi thông tin giữa các nhà khoa
học với các nhà nghiên cứu khác nhau là một nhân tố quan trọng trong quá
trình phát triển nhanh chóng lĩnh vực polymer dẫn điện.
Như ta đã biết, trong tinh thể bán dẫn vô cơ thì liên kết giữa các nguyên tử
là liên kết ion hoặc dạng liên kết cộng hóa trị để tạo ra trạng thái của chất rắn.
Nhưng đối với polymer thì khác, chúng liên kết các phân tử bằng lực phân tử,
Vander Waal, sự chồng chéo của hàm sóng. Các electron ở quỹ đạo phía bên
ngoài của nguyên tử tạo ra liên kết kiểu cộng hóa trị C-C, được gọi là liên kết
σ. Trong kiểu liên kết này thì các electron mang tính chất định xứ giữa 2
nguyên tử C. Ngoài ra, electron thứ 2 của mỗi nguyên tử còn tham gia liên kết
π hay là liên kết kép. Trong đó các electron mang tính chất kém định xứ hơn
và tạo ra các trạng thái bao phủ toàn bộ vật liệu, do đó liên kết này kém bền

vững hơn. Các phân tử hữu cơ chứa các liên kết kép hoặc ba gọi là polymer
liên hợp mà ở đó các liên kết hóa học tạo ra một điện tử không ghép cặp với
nguyên tử C. Các dạng liên kết π kém bền vững đã dẫn đến tình trạng bất định
xứ của electron dọc theo chuỗi polymer, chúng là nguồn gốc của các hạt tải
linh động. Do đó, cấu trúc điện tử của polymer dẫn được xác định bởi cấu trúc
hình học của các dãy.
Điều kiện cần có của một polymer dẫn điện là nó phải có hệ thống điện tử
π liên hợp, phân bố dọc theo các nguyên tử carbon của mạch polymer. Cho
nên, đến tận bây giờ tất cả các loại polymer được nghiên cứu đều có hệ thống
điện tử π liên hợp. Độ dẫn điện của chúng phụ thuộc vào mức độ tương tác
Trang 7


của các vân đạo điện tử giữa các monomer kế cận, loại và nồng độ của các tác
nhân pha tạp.
Giống như trong chất bán dẫn vô cơ, trong polymer người ta cũng đã
chứng minh sự tồn tại của vùng cấm năng lượng tức là sự khác biệt giữa 2
mức năng lượng HOMO và LUMO (viết tắt của Highest occupied molecular
orbital – quỹ đạo phân tử điền đầy cao nhất và Lowest unoccupied molecular
orbital – quỹ đạo phân tử chưa điền đầy thấp nhất). Chúng có tính chất giống
như vùng hóa trị và vùng dẫn trong chất bán dẫn vô cơ. Các chất polymer có
độ rộng vùng cấm đặc trưng khác nhau, do đó đỉnh hấp thụ năng lượng
photon của chúng cũng khác nhau. Nếu có tác nhân kích thích tương ứng, ví
dụ như điện trường một chiều, năng lượng nhiệt… thì các electron từ mức
HOMO sang mức LUMO để tạo ra cặp điện tử - lỗ trống (exciton). Trong một
khoảng thời gian rất ngắn, cặp điện tử – lỗ trống tái hợp và phát quang. Lúc
này, giá trị của độ rộng vùng cấm (tức là sự chênh lệch mức năng lượng giữa
HOMO và LUMO) sẽ quyết định năng lượng của photon phát ra do kích thích
quang hay điện.
Trong điều kiện bình thường, các polymer dẫn điện có cấu trúc vùng năng

lượng tương tự như các chất bán dẫn vô cơ. Trong đó, năng lượng ion hóa (thế
tương ứng là thế ion hóa IP) của phân tử chính là năng lượng để đưa một
electron từ mức HOMO lên mức chân không. Còn năng lượng để đưa một
điện tử từ mức chân không sang mức LUMO được gọi là di lực điện tử của
phân tử (Ic hoặc Ea). Quá trình ion hóa là quá trình di chuyển các hạt electron
từ mức HOMO, khi đó phân tử sẽ tích điện dương, tương ứng với quá trình
dẫn lỗ trống của mức HOMO. Ngược lại, quá trình khử là quá trình thêm một
electron vào mức LUMO. Như vậy, HOMO tương ứng với vùng hóa trị, còn
LUMO thì tương ứng với vùng dẫn trong bán dẫn vô cơ.
Quá trình tạo ra ánh sáng trong một OLED khi được phân cực bởi điện
trường được chỉ ra trong hình 1.1. Từ các sơ đồ trên, ta có thể chia quá trình
hoạt động của OLED ra làm 4 bước như sau:
Bước 1: Tiêm hạt tải.
Bước 2: Truyền hạt tải.
Bước 3: Tạo thành exiton.
Bước 4: Tái hợp exiton và phát xạ ánh sáng.
Trang 8


Nguyên lý hoạt động của OLED được trình bày trên hình 1.1.

Hình 1.1: OLED phát sáng khi được phân cực bởi điện trường.
Trong cấu trúc OLED như trên thì lớp màng hữu cơ vừa có tác
dụng truyền lỗ trống và điện tử, đồng thời đóng vai trò là lớp
phát quang. Các điện tử được tiêm vào lớp màng từ cathode,
còn lỗ trống được tiêm vào màng từ anode.
1.2. Các loại polymer dẫn điện:
1.2.1.
Polymer dẫn điện do chất phụ gia thêm vào:
Để tạo ra các polymer dẫn điện loại này, người ta thường cho vào polymer

các chất phụ gia có độ dẫn điện lớn chẳng hạn như bột kim loại. Tuy nhiên
tính dẫn điện có được không xuất phát từ bản chất của vật liệu polymer mà từ
các phụ gia thêm vào. Do đó chúng không được ứng dụng vào lĩnh vực điện
hữu cơ.
Lĩnh vực điện hữu cơ chủ yếu tạo ra các linh kiện điện tử như diode phát
quang hữu cơ (OLED), transistor hiệu ứng trường (FETs), tụ điện, pin mặt trời
và các bộ chuyển tín hiệu trong các thiết bị điện tử.
Trang 9


1.2.2. Polymer dẫn do quá trình pha tạp:
Đa số các polymer có hệ thống điện tử π liên hợp là các chất bán dẫn. Để
làm tăng độ dẫn điện, cần đưa các điện tích vào mạch polymer bằng hai
phương pháp:
Phương pháp thứ nhất: để đưa các điện tích vào mạch polymer, hoặc là lấy
đi các điện tử từ nó (quá trình oxy hóa hay còn gọi là pha tạp loại p với hạt tải
đa số là các lỗ trống), hoặc là đưa các điện tử vào nó (quá trình khử hay pha
tạp loại n với hạt tải đa số là các electron). Các polymer có hệ thống điện tử π
liên hợp thường có xu hướng nhường điện tử, cho nên chúng dễ bị oxy hóa
bởi các tác nhân oxy hóa như là I2, FeCl3,…
Quá trình lấy đi một điện tử từ polythiophene sẽ tạo ra một điện tích linh
động trên gốc cation mà theo thuật ngữ của vật lý chất rắn thì gọi là polaron.
Quá trình oxy hóa sâu hơn có thể chuyển polaron thành bipolaron ở trạng thái
không spin hay một cặp polaron. Trong trường hợp này, quá trình đưa vào
mạch polymer một điện tích dương đồng thời với việc đưa vào một ion đối
mang điện tích trái dấu.
Phương pháp thứ hai: phương pháp này được gọi là quá trình pha tạp acid.
Cấu trúc dạng leucoameraldine có thể bị oxy hóa thành dạng emaraldine mà
không có sự tham gia của các ion đối X-. Tuy nhiên, dạng ameraldine chỉ dẫn
điện khi nó được xử lý bằng các loại acid mạnh.

Trong hai phương pháp trên, việc tạo ra các điện tích trên mạch polymer
luôn gắn liền với việc đưa vào các ion đối. Tuy nhiên, cơ chế dẫn điện của các
loại polymer loại này không phải do các ion đối tạo ra, mà do sự phân bố điện
tích một cách tương đối qua toàn mạch polymer.
1.2.3. Polymer dẫn điện thuần:
Ngược lại với các loại polymer dẫn điện do quá trình pha tạp, các polymer
dẫn điện thuần là các polymer trung tính, bản chất dẫn điện là do giá trị năng
lượng vùng cấm (được gọi là Eg) rất nhỏ, thậm chí gần bằng 0eV. Độ dẫn điện
của chúng phụ thuộc chủ yếu vào mức độ chồng lấp của các vân đạo điện tử π
giữa các monomer kế cận. Các polymer loại này đang là đề tài cho nhiều
nghiên cứu trên thế giới vì nó tránh được quá trình pha tạp rắc rối và khó điều
khiển. Quá trình làm giảm giá trị của Eg sẽ làm tăng mật độ điện tử trên vùng

Trang 10


dẫn, do đó làm tăng tính dẫn thuần của vật liệu và có thể tạo ra được các kim
loại hữu cơ mà không cần quá trình pha tạp.
Mặt khác, khi thế oxy hóa có giá trị càng bé kết hợp với giá trị E g nhỏ sẽ
tạo ra được các loại polymer dẫn điện do quá trình pha tạp rất ổn định. Hơn
nữa, khi giảm giá trị của Eg có thể tạo ra các loại polymer trong suốt trong
vùng bước sóng hồng ngoại, tính chất này được ứng dụng trong các thiết bị
làm việc trong vùng bước sóng hồng ngoại. Một ví dụ điển hình nhất về loại
polymer có giá trị Eg thấp, đó là hệ đồng polymer hóa giữa
4(Dicyanomethylene)-4H-cyclopenta[2,1b;3,4b’]dithiophene và 3,4(ethylenedioxy)thiophene, giá trị Eg = 0,16eV.
Độ dẫn của các loại polymer dẫn điện sẽ tăng khi nhiệt độ tăng và ngược
lại. Mối liên hệ này tương tự như các chất bán dẫn vô cơ, vì vậy trong một số
nghiên cứu có thể áp dụng một số nguyên lý nào đó của chất bán dẫn vô cơ
cho polymer dẫn điện.
1.3. Ứng dụng của polymer dẫn điện:

Polymer dẫn điện có rất nhiều ứng dụng, được chú ý nhiều nhất vẫn là
diode phát quang hữu cơ (OLED: Organic light emitting diode) và transistor
hiệu ứng trường (FETs: Field Effect Transistors). Trong luận văn này sẽ đề
cập một cách chi tiết về diode phát quang hữu cơ OLED cấu trúc đa lớp cũng
như các phương pháp nghiên cứu để cải thiện đặc tính Vôn-ampe (I-V ) từ đó
cải thiện hiệu suất phát quang cũng như kéo dài thời gian phục vụ cho các loại
OLED.
Ngoài ra, dựa vào các đặc tính và cấu trúc của chất bán dẫn hữu cơ người
ta đã ứng dụng chúng vào các lĩnh vực khác như làm chất quang dẫn, mực in,
các chất phát quang…
1.4. Phương pháp chế tạo OLED cấu trúc đa lớp:
1.4.1. Cấu tạo của OLED:
Các OLED thường có cấu trúc xếp thành nhiều lớp do các lớp màng mỏng
hình thành, cấu trúc của nó giống như một cái bánh “sandwiched” mà ở đây
lớp màng mỏng nằm giữa điện cực dương anode và điện cực âm cathode. Các
lớp màng mỏng được hình thành từ các loại vật liệu khác nhau. Cấu trúc tổng
quát của một OLED gồm có các lớp màng mỏng được lắng đọng trên một cái
đế. Lớp đầu tiên là điện cực cathode thường dùng các vật liệu đặc trưng để
Trang 11


chế tạo như Mg:Ag. Dưới lớp này là một lớp truyền các hạt điện tử ETL
(Electron transport layer) được chế tạo từ hợp chất MEH-PPV, Alq 3. Lớp thứ
ba là lớp truyền lỗ trống HTL (Hole transport layer). Cuối cùng, lớp thứ tư là
điện cực anode với chất chế tạo đặc trưng là ITO (Indium-tin-oxide). Tấm đế
được làm từ thủy tinh hoặc từ nhựa trong suốt. Khi cấp điện áp phân cực đúng
thì các lỗ trống và electron của các lớp bên trong tái hợp để hình thành các
exciton. Khi một exciton phân rã thì phát xạ ra một photon.
Điện cực âm cathode là kim loại có công thoát


c

thấp, vật liệu thường hay

được sử dụng là Ca và Mg. Tuy nhiên các vật liệu này thường có hạn chế là dễ
phản ứng với oxy và độ ẩm môi trường, vì vậy Al và hợp kim của chúng, ví
dụ như Mg:Al (tỷ lệ 10:1) thường được lựa chọn sử dụng nhiều hơn do chúng
có khả năng chống oxy hóa, ít phản ứng với độ ẩm môi trường. Đối với
OLED phát xạ thông qua anode thì yêu cầu của cathode là: tiêm được nhiều
điện tử vào mức LUMO và có thể phản xạ được ánh sáng phát ra. Ngoài ra,
việc lựa chọn các vật liệu làm cathode còn phải thỏa mãn điều kiện rào thế
ΔEc giữa cathode và lớp màng polymer tiếp xúc là nhỏ nhất. Các hợp kim này
được chọn bởi vì chúng có chức năng hoạt động thấp để cho phép các hạt
electron dễ dàng được phun vào bên trong các lớp hữu cơ. Điện cực âm
cathode được hình thành có thể không cần phải sử dụng vật liệu trong suốt, do
đó tùy vào các ứng dụng mà chế tạo nó như thế nào.
Điện cực dương anode được làm từ hợp chất ITO. ITO có điểm đặc biệt là
truyền ánh sáng đi xuyên qua các lớp hữu cơ đến tấm đế. Yêu cầu đầu tiên của
anode là phải tạo ra được các lỗ trống tích điện dương để phun vào lớp màng
polymer, có thể cho ánh sáng đi qua. Do đó, việc lựa chọn các vật liệu làm
anode phải thỏa mãn điều kiện rào thế ΔE a giữa anode và lớp màng polymer
tiếp xúc là nhỏ nhất. Thực tế, ITO (In 2O3:Sn) thường được lựa chọn làm
anode. Ngoài ra, để giảm rào thế ΔE a giữa anode và lớp màng polymer người
ta thường tìm cách nâng cao công thoát cho anode ITO bằng các phương pháp
sau:
-

Xử lý bề mặt anode bằng plasma trong môi trường oxy hoặc trong dung

dịch axit H3PO4.

-

Phủ chồng lên anode một lớp vật liệu có công thoát rất lớn như là

PEDOT, PEDOT-PSS…
Trang 12


Tạo ra lớp điện môi rất mỏng giữa anode và lớp polymer.
Cấu trúc đơn giản, dễ chế tạo và phù hợp với điều kiện hiện có nên ITO
được chọn làm điện cực dương.

Hình 1.4.1: Những thành phần chính hình thành nên một OLED có cấu
trúc đa lớp bao gồm điện cực âm, lớp phát xạ, lớp dẫn, điện cực dương
và một tấm đế.
Các lớp hữu cơ có thể được hình thành từ các phân tử hữu cơ hoặc các loại
polymer. Khi sử dụng các phân tử hữu cơ để hình thành hai lớp màng: một lớp
được gọi là lớp truyền, còn lớp kia được gọi là lớp phát xạ. Lớp truyền phải
đáp ứng được yêu cầu là cho các hạt tải đi qua từ điện cực anode, từ đó lớp
phát xạ sẽ cho các electron đi qua. Khi các lỗ trống và các electron tương tác
với nhau thì sẽ tạo ra exciton và ánh sáng được phát ra. Tùy vào các ứng dụng
khác nhau để chọn lựa các lớp vật liệu thích hợp. Một trong các yếu tố quyết
định việc chọn lựa các vật liệu như thế nào đó là màu sắc từ ánh sáng phát ra
của OLED. Các màu sắc khác nhau được thực hiện với các lớp vật liệu khác
nhau. Ví dụ như để tạo ra ánh sáng màu xanh lá (Green) thì sử dụng hợp chất
Mq3, khi M là một kim loại nhóm III và q 3 là 8-hydroxyquinolate. Nếu đó là
ánh sáng màu xanh dương (Blue) thì sử dụng hợp chất Alq2OPh và ánh sáng

Trang 13



màu đỏ (Red) sẽ sử dụng các chất dẫn xuất perylene. Khi sử dụng polymer thì
duy nhất chỉ có lớp hữu cơ đơn là đạt yêu cầu.
Giống như một diode phát quang LED, một diode phát quang hữu cơ
OLED là một linh kiện có độ dày từ 100 đến 500nm hay nhỏ hơn khoảng 200
lần đường kính của sợi tóc. Các OLED có thể có hai hoặc ba lớp vật liệu hữu
cơ; trong môi trường thiết kế ba lớp thì lớp thứ ba sẽ giúp truyền tải các
electron từ cathode tới lớp phát xạ. Tóm lại, một OLED gồm các phần cơ bản
sau (xem hình 1.4.1):
Đế: làm từ nhựa trong suốt, thủy tinh… tấm đế này có tác dụng chống đỡ
cho OLED.
Điện cực anode: mang tính trong suốt sẽ lấy đi các electron (hay tạo ra
các lỗ trống mang điện tích dương) khi có một dòng điện chạy qua linh kiện.
Các lớp hữu cơ: được tạo thành từ các phân tử hữu cơ hay polymer, bao
gồm:
-Lớp dẫn: lớp này được làm từ các phân tử hữu cơ dẻo có nhiệm vụ truyền tải
lỗ trống từ anode. Một polymer dẫn được sử dụng trong các OLED là
polyaniline.
-Lớp phát sáng: lớp này được làm từ các phân tử hữu cơ dẻo (nhưng khác loại
với lớp dẫn) có nhiệm vụ truyền tải các electron từ điện cực cathode. Một loại
polymer dùng trong lớp phát sáng là polyfluorence.
Điện cực cathode: có thể trong suốt hoặc không tùy vào loại OLED,
cathode sẽ tạo ra electron khi có dòng điện chạy qua linh kiện.
1.4.2. Các phương pháp chế tạo OLED:
Một khi vật liệu đã được lựa chọn thì việc ứng dụng phương pháp nào sẽ
được lựa chọn. Hiện nay, có nhiều phương pháp khác nhau được sử dụng, mỗi
phương pháp đều có những ưu và khuyết điểm riêng.
Công đoạn phức tạp nhất của việc chế tạo các OLED là khi đặt các lớp hữu
cơ lên tấm đế. Công đoạn này có thể thực hiện bằng các phương pháp như
sau:

Lắng đọng chân không hay bốc hơi nhiệt chân không:
Khi sử dụng các lớp phân tử nhỏ, các kỹ thuật làm bốc hơi là sự lựa chọn
phổ biến. Các phân tử nhỏ được bốc hơi trên một tấm đế và tạo thành một lớp
Trang 14


màng mỏng, để thực hiện được điều này phải đặt mẫu trong điều kiện chân
không.
Màng được chế tạo theo phương pháp bốc hơi nhiệt thì độ dày của màng
có khuynh hướng sẽ không đồng nhất cũng như độ phẳng của bề mặt sẽ rất
kém. Cụ thể như sau: trong một buồng chân không, các phân tử hữu cơ được
đốt nóng nhẹ (làm bốc hơi) và sẽ ngưng tụ thành các tấm màng mỏng trên các
tấm đế (xem hình 1.4.2a). Quá trình này tốn kém và không hiệu quả và do tính
không đồng nhất của màng nên nó không phải là phương pháp được lựa chọn
để chế tạo màng.

Hình 1.4.2a. Các phân tử hữu cơ được đốt nóng nhẹ (làm bốc hơi) và sẽ
ngưng tụ thành các tấm màng mỏng.
Lắng đọng pha hơi hữu cơ OVPD (Organic vapor phase
deposition):
Trong một buồng phản ứng áp suất thấp có tường nóng, một chất khí vận
chuyển sẽ truyền tải các phân tử hữu cơ bốc hơi tới các tấm đế lạnh, tại đó
chúng ngưng tụ thành các tấm màng mỏng. Sử dụng một chất khí vận chuyển
sẽ tăng tính hiệu quả và làm giảm giá thành chế tạo OLED.
Trang 15


Ngoài ra có một phương pháp khác gần giống như phương pháp OVPD đó
là công nghệ lắng đọng pha hơi hóa học CVD ( Chemical vapor phase
deposition). Trong phương pháp CVD, một tấm đế để lắng đọng được đặt

trong môi trường chân không và một hóa chất được đưa vào để ngưng tụ lại
trên tấm đế. Sự bất lợi của phương pháp này là tất cả mọi thứ bên trong môi
trường chân không đó sẽ bị phủ hóa chất, dẫn đến việc làm hư cả vật liệu
đang sử dụng.

Hình 1.4.2b: Qui trình lắng đọng pha
hơi hữu cơ OVPD.
In phun mực:

Trang 16


(a)

(b)

Hình 1.4.2c: Thiết bị in phun độ chính xác cao (hình a) và cách thực hiện
(hình b) để tạo ra các OLED.
Với công nghệ phun mực, các OLED được phun rải trên các tấm đế giống
như mực được phun rải lên trên giấy khi in. Công nghệ in phun mực giúp
giảm đáng kể giá thành sản xuất các OLED và cho phép các OLED được in
lên trên các tấm màng lớn tức là tạo ra các màn hiển thị rất lớn như các màn
hình TV 80 inch hay các bảng thông báo điện tử. Khi sử dụng các polymer thì
kỹ thuật dựa theo công nghệ in phun mực được lựa chọn nhiều nhất. Độ phân
giải của màn hình hiển thị OLED thì tương tự như việc in ảnh lên trên giấy và
vì vậy, kỹ thuật này chuyển đổi qua lại một cách dễ dàng. Trong phương pháp
in phun mực, vật liệu hữu cơ được sử dụng bên trong chất lỏng cùng loại với
cách thức giống như là mực được sử sụng trong cách in ấn truyền thống. Có
những vấn đề còn tồn tại với những cái lỗ nhỏ trong lớp được tạo ra theo kiểu
in phun mực. Cái đó giống như việc định địa chỉ bởi một lớp quay phủ ly tâm

ban đầu và sau đó mới sử dụng phương pháp in phun mực lên lớp thứ hai.

Phương pháp quay phủ ly tâm (spin coating):
Trang 17


(a)
(b)
Hình 1.4.2d. Hệ thống quay phủ (a) và tấm đế được quay với tốc độ cao mục
đích là làm cho chất lỏng đó lan rộng ra phía ngoài (b).
Đặc trưng của các polymer là sử dụng quá trình quay phủ ly tâm. Trong
quá trình quay phủ ly tâm, vật liệu hữu cơ dưới dạng chất lỏng được lắng
đọng trên một tấm đế. Tấm đế được quay với tốc độ cao với mục đích là làm
cho chất lỏng đó lan rộng ra phía ngoài (xem hình 1.4.2d). Chất lỏng sẽ được
định hình thành lớp màng mỏng và đông cứng lại sau khi nó được cho bốc
hơi. Độ dày của màng sẽ được xác định bởi số lần tấm đế được quay và tốc độ
làm khô của vật liệu.
1.5. Cơ chế phát quang của OLED:
Các OLED phát ra ánh sáng theo cách giống như các đèn LED. Quá trình
này gọi là sự phát quang điện tử. Quá trình này xảy ra như sau:
-Nguồn điện cung cấp dòng điện cho OLED.
-Một dòng các electron chạy từ cathode qua các lớp hữu cơ tới anode:
Cathode sẽ truyền các electron cho lớp các phân tử hữu cơ phát quang, anode
sẽ lấy các electron từ lớp các phân tử hữu cơ dẫn (điều này giống với việc
truyền các lỗ trống mang điện tích dương cho lớp dẫn).
Trang 18


Hình 1.5a: Mức năng lượng của OLED trong quá trình hoạt động.
Tại biên giữa lớp phát quang và lớp dẫn, các electron sẽ gặp các lỗ trống.

Như vậy khi một electron gặp một lỗ trống, nó sẽ tái hợp với lỗ trống này
(Hay nó rơi vào mức năng lượng của nguyên tử lỗ trống bị mất một electron).
Khi sự tái hợp xảy ra, electron tái hợp sẽ tạo ra một năng lượng dưới dạng
một photon ánh sáng.
Khi ta đặt một điện trường phân cực lên hai điện cực thì các electron sẽ
được tiêm vào lớp màng ETL, còn lỗ trống được tiêm vào lớp màng HTL.
Dưới tác dụng của điện trường, các hạt tải chuyển động về phía hai cực anode
và cathode, chúng tái hợp tại lớp phát quang hoặc tại lớp tiếp xúc HTL/ETL
và giải phóng năng lượng dưới dạng ánh sáng. Trong quá trình tiêm hạt tải,
điện tử và lỗ trống sẽ bị ảnh hưởng bởi bề mặt tiếp xúc giữa cathode/polymer
và anode/polymer. Do đó cần chọn vật liệu thích hợp để đảm bảo quá trình
tiêm hạt tải được ổn định.

Trang 19


Hình 1.5b. Ảnh hưởng của rào tiêm tại 2 đầu điện cực
tới đặc trưng I-V của OLED [12]
Ta nhận thấy, rào tiêm điện tử được đặt tại tiếp xúc kim loại và chất hữu cơ
với công thoát của kim loại lớn hơn mức LUMO của vật liệu hữu cơ. Do đó,
các kim loại có công thoát thấp làm cho điện tử tiêm vào mức LUMO dễ dàng
hơn. Thực tế, Mg pha thêm một lượng nhỏ Ag thường được dùng làm
cathode. Ngoài ra, để tăng cường khả năng khuếch tán của điện tử vào mức
LUMO, một số hỗn hợp khác cũng đã được sử dụng như Al:Sn hoặc Al:Li.
Tương tự, để phù hợp với mức HOMO của vật liệu hữu cơ, công thoát của
anode cần phải cao để lỗ trống tiêm vào mức HOMO dễ dàng hơn. Bên cạnh
đó, để đáp ứng yêu cầu hiển thị nó cần phải có độ truyền qua cao (90% tại =
550nm). Cho đến nay, màng dẫn điện trong suốt ITO với khả năng thay đổi
công thoát trong một dãi rộng từ 4,5 đến 5,2 eV thường hay được sử dụng
nhất. Các nhà khoa học cũng đang nghiên cứu thay thế màng ITO bằng các

màng hữu cơ để mở rộng phạm vi ứng dụng.
Màu của ánh sáng phụ thuộc vào các kiểu phân tử hữu cơ của lớp phát
quang. Để tạo ra ánh sáng có nhiều màu khác nhau, ta sắp xếp các tấm màng
Trang 20


hữu cơ trên cùng một OLED. Cường độ hay độ sáng của màn hình phụ thuộc
vào lượng điện cung cấp. Lượng điện càng lớn thì OLED càng sáng.
1.6. Vật liệu dùng để chế tạo OLED:
Ở phần này, các chất bán dẫn hữu cơ sẽ được xem xét xung quanh khả
năng phát triển các thông số của vật liệu được yêu cầu, chẳng hạn như các dãy
năng lượng của quỹ đạo phân tử chưa điền đầy thấp nhất (LUMO) và quỹ đạo
phân tử

điền đầy cao nhất (HOMO). Việc khám phá ra phức hợp

peryleneiodine vào năm 1952 đã dọn đường cho việc phát triển chất hữu cơ
bán dẫn đầu tiên.
Chất bán dẫn phân tử nhỏ, các chất hóa học, hoặc các lớp polymer liên hợp
được lắng đọng một cách đặc trưng lên phía trên của lớp truyền điện tích. Vật
liệu bán dẫn có thể được quay phủ spin theo cách thông thường, được lắng
đọng chân không bằng cách cho bốc hơi hóa học, hoặc in bởi các công nghệ
như là in phun mực, lăn khô và in trải rộng. Sự lựa chọn vật liệu để chế tạo
màng hữu cơ chủ yếu là dựa vào quá trình nạp điện tích, màu sắc và hiệu suất
phát quang. Ánh sáng phát sinh bởi sự phân rã nhanh chóng của các trạng thái
phân tử bị kích thích trong khi màu sắc của ánh sáng được tạo ra dựa trên sự
khác biệt về năng lượng giữa các trạng thái bị kích thích và mức nền phân tử.
PVK:
Polyvinylcarbazole (PVK) là một polymer không mang tính liên hợp
nhưng có tính dẫn và truyền ánh sáng rất tốt. Các chromophore mang tính

chất đối xứng được kết hợp từ chuỗi olefinic. Vì vậy, trước đây nó được ứng
dụng rộng rãi trong lĩnh vực chụp ảnh điện. Gần đây PVK thường được sử
dụng như là một lớp tiêm lỗ trống bên trong các LED hữu cơ khác nhau. Các
nghiên cứu đều cho thấy khả năng nâng cao hiệu suất PL và EL của các chất
hữu cơ chromophore khi kết hợp với PVK, mặc dù nó không rõ ràng về chức
năng riêng biệt của PVK hay nếu pha loãng chromophore quá thì cũng sẽ làm
suy giảm các tính chất ưu việt cần thiết.
Nếu PVK được sử dụng như một lớp riêng biệt (không kết hợp với
chromophore) và không mang tính liên kết khép kín bên trong với điện cực
ITO, nhưng khi lớp trung gian nằm giữa vật liệu dùng để tiêm lỗ trống, PPV
và polymer phát xạ, PDPV. PDPV là một loại polymer mang tính hấp thu điện
huỳnh quang (EL) bởi vì nó có một hiệu suất quang huỳnh quang (PL) rất cao
Trang 21


trong trạng thái rắn (0,45) và hòa tan được trong các dung môi thông thường,
chẳng hạn như chloroform hoặc toluene, trong suốt quá trình thay đổi phenyl
ở tại các vinylene và gây ra sự hỗn loạn do hiện tượng đồng phân. Nói chung,
để sử dụng PPV như là một lớp tiêm lỗ trống tốt nhờ vào sự ổn định mang
tính tương đối của lớp bề mặt phân giới với ITO và giới hạn sự vượt quá của
các dòng lỗ trống với lớp trung gian PVK, lúc này điện thế ion hóa cao
khoảng 5,8eV. Vì vậy, sẽ hình thành hàng rào năng lượng của các lỗ trống tại
bề mặt phân giới giữa PPV và PVK. Dòng điện và độ chiếu sáng có khuynh
hướng đối ngược với các điện áp đặc trưng khi bề dày của cấu trúc khoảng
300nm. Khi được dùng trong các thiết bị đa lớp hoặc được pha tạp, màu sắc
ánh sáng phát ra sẽ dịch dần về phía đỏ. Bên cạnh đó, khi tạo thành màng
mỏng bằng các phương pháp lắng đọng pha hơi vật lý như bốc bay nhiệt cho
thấy chức năng của nhóm Cacbazole được an toàn và thành phần của nó bị cắt
ngắn thành oligomer. Với ánh sáng laser có cường độ lớn, nó có thể bị thay
đổi chiết suất, vì vậy có thể gọi đây là vật liệu quang khúc xạ. Bên cạnh đó,

nó còn có một ưu điểm khác nữa là mất mát điện môi thấp.
Vai trò của PVK là hiển nhiên khi so sánh với các diode có sự kết hợp của
lớp PVK với lớp đơn PDPV và các diode có lớp kép PPV/PDPV. Với các
diode có cấu trúc ITO/PDPV/Ca thì hiệu suất bên trong lên đến 0,04% và
0,25% với cấu trúc ITO/PPV/PDPV/Ca. Đặc biệt, một thông số để phân loại
mức độ chiếu sáng của vật liệu được lợi dụng bên trong các linh kiện có hình
dạng đặc biệt có thể được tính toán như là tỷ số hiệu suất PL của vật liệu phát
xạ đến hiệu suất EL của diode (f ≡ ηPL/ ηEL), và nó gần bằng 104 (Al) hoặc 103
(Ca) cho các LED có cấu trúc đơn lớp PDPV kém hơn so với PPV [f (Al) =
2500, f (Ca) = 250] bởi vì hiệu suất PL là cao nhất và dòng mang tính không
cân bằng là lớn nhất. Tỷ số về cấu trúc của các lớp là: f (Al) ≤ 100 và f (Ca) ≤
70. Mặc dù các giá trị tuyệt đối của hiệu suất không hẳn là cao để có thể thực
hiện được với cấu trúc PPV/CN-PPV nhưng hiệu suất được cải thiện khoảng 2
bậc với điện cực cathode Al và nhiều hơn một bậc với điện cực cathode Ca.
Lưu ý rằng việc sử dụng PVK trong các liên kết trực tiếp với ITO là có thể
và hiệu suất đem lại khoảng từ 0,6 đến 1%. Thời gian phục vụ của các LED
hữu cơ có liên quan đến hàng rào tại bề mặt phân giới ITO (hàng rào càng

Trang 22


thấp thì thời gian phục vụ của linh kiện càng được kéo dài lâu hơn) và vì vậy,
khả năng ứng dụng PPV như là một lớp tiêm lỗ trống trong OLED là rất lớn.
PVK thường được sử dụng rộng rãi trong nhiều nghiên cứu do có tính chất
dẫn điện tốt, dễ dàng chế tạo dưới dạng màng mỏng bằng nhiều phương pháp
khác nhau, nhiệt độ chuyển pha cao, khe năng lượng rộng (hấp thụ ánh sáng
trong vùng tử ngoại).

Hình 1.6: Phổ hấp thụ (a) và quang huỳnh quang (f) của màng
PVK [15]


Thay vì dựa trên sự tập trung các thay đổi và các khái niệm về linh kiện đa
lớp, ở đây chỉ thảo luận việc nâng cao hiệu suất của chất dẫn xuất phenylated.
Chúng ta thấy rằng, cường độ dòng điện và ánh sáng có khuynh hướng đối lập
với điện áp phân cực đối với linh kiện có cấu trúc dị mối nối, chẳng hạn như
indium-tin oxide/PPV/CN-PPV/aluminum. Với một linh kiện có diện tích
Trang 23


khoảng 4mm2 thì công suất ngõ ra tương ứng sẽ là 5,2mW/sr/A, ánh sáng phát
ra là 2,6W/sr/m2 với mật độ dòng đo được là 50mA/cm2.
PVK là một vật liệu quang dẫn có độ rộng vùng cấm lớn, trong suốt, có độ
bền nhiệt và hóa học tốt… ví dụ, nhiệt độ hóa dẻo của PVK là 150 oC, nhiệt độ
chuyển pha thủy tinh là 211 oC và không bị phân hủy đến trên 300 oC, PVK có
chiết suất cao (khoảng 1,69). Tuy nhiên, PVK có nhược điểm là giòn, dễ gãy
và có độ bền cơ học yếu. PVK được chế tạo từ các nhóm Cacbazole có cấu
trúc xoắn ốc với ba đơn vị monomeric trên một vòng xoắn. Trong một chu kỳ
xoắn, nhóm Cacbazole được sắp xếp vuông góc với trục của vòng xoắn và
song song với các nhóm khác. Ở đó, các điện tử nội phân tử trao đổi tương tác
với nhau và trở nên mạnh hơn, dẫn tới sự bất định xứ của exiton với năng
lượng liên kết yếu. Các nghiên cứu cho thấy đặc trưng của nhóm Cacbazole là
hấp thụ ánh sáng xung quanh với bước sóng khoảng 340nm và phát ra ánh
sáng xung quanh bước sóng 420nm [13,15].
Cathode kim loại (Al):
Al có công thoát khá lớn, dễ bốc bay trong chân không cao để tạo thành
điện cực Ohmic. Bên cạnh đó, Al là một vật liệu có giá thành rẻ, phù hợp với
điều kiện thí nghiệm. Lưu ý rằng, với các điện cực cathode Al thì độ chói sáng
là 1300cd/m2 với điện áp là 33V và cường độ dòng điện khoảng 400mA/cm 2.
Cần phải chú ý sự khác biệt về hiệu suất giữa Ca và Al với hệ số là 1,5 thay vì
10 như đối với các linh kiện đơn lớp. Hiệu suất lượng tử hóa bên ngoài nằm

trong khoảng độ từ 0,4 đến 0,55% cho các điện cực cathode
Al.
Anode trong suốt (ITO):
Indium tin oxide (ITO) được sử dụng rộng rãi như là một điện cực truyền
dẫn cho các linh kiện quang điện tử, chẳng hạn như các tấm bảng hiển thị
phẳng bằng tinh thể lỏng hay pin mặt trời… ITO là một chất bán dẫn loại n có
sự thoái hóa cao và có điện trở suất thấp từ 2.10 -4 cm đến 4.10-4 cm và độ rộng
khe dãi trong khoảng từ 3.3eV đến 4.3eV. Nó cho thấy tính truyền dẫn cao
trong vùng nhìn thấy và gần với vùng quang phổ ánh sáng hồng ngoại.
ITO là loại bán dẫn kiểu n với độ rộng vùng cấm nằm trong khoảng 3,5
đến 4,3eV và có nồng độ hạt tải điện vào khoảng 10 21 cm-3. Hệ quả là ITO
trong suốt trong vùng ánh sáng nhìn thấy và có độ dẫn cao, nó thường được
Trang 24


chế tạo bằng nhiều phương pháp khác nhau. Khi được pha tạp khoảng 10% thì
bị suy biến mạnh và có độ dẫn gần giống như kim loại [14]. Yêu cầu đối với
vật liệu truyền lỗ trống hiện nay là: có nhiệt độ thủy tinh cao Tg > 200 oC (làm
tăng thời gian sống của linh kiện); có khả năng truyền hạt tải cao (μ ≈
103cm2/V.s) do đó hiệu suất phát quang cao, có khả năng hòa tan trong các
dung môi hữu cơ. Mặt khác, khi nghiên cứu về OLED cho thấy, dòng lỗ trống
đóng góp chủ yếu vào dòng tổng do có độ linh động cao hơn điện tử. Vì vậy,
cải tiến lớp tiếp xúc cho cả hai đầu điện cực nhằm làm cân bằng dòng tiêm lỗ
trống và điện tử là một nhu cầu cấp thiết cho việc nâng cao hiệu suất phát
sáng và độ ổn định của OLED. Lớp phun lỗ trống hoặc lớp đệm cực tính
dương anode có thể được sử dụng để làm tăng hiệu suất bởi việc phát sinh ra
hàng rào năng lượng ở giữa mặt phân giới ITO/HTL. Vật liệu của lớp phun lỗ
trống thường là poly(3,4-ethylenedioxythiophene) poly(styrenesulfonate)
(PEDOT:PSS). Do gel được hydrat hóa để làm bằng phẳng bề mặt gồ ghề
mang tính chất vi mô của của lớp màng ITO, qua đó làm giảm khả năng bị

ngắt chuỗi polymer.
Lớp phát quang:
Chúng ta đã biết OLED hoạt động bởi sự phát xạ quang điện khi được
phân cực với điện áp nằm trong khoảng từ 2,5V đến 20V giữa các điện cực.
Trong các lớp hoạt động rất mỏng xuất hiện một điện trường cao khoảng
107V/cm, làm nâng cao quá trình phun lỗ trống từ điện cực anode đi qua lớp
phun lỗ trống và của các hạt electron từ điện cực cathode đi ngang qua lớp
truyền lỗ trống. Những hạt điện tích sau đó di chuyển theo các hướng đối lập
để tái hợp bên trong lớp phát xạ, khi sự tái hợp năng lượng ảnh hưởng của
phân tử polymer để đạt được một trạng thái kích thích, vì vậy năng lượng
phóng thích dưới dạng photon hoặc nhiệt. Như vậy, yêu cầu cơ bản đối với vật
liệu phát quang là có khả năng truyền điện tử tốt, phát ra phổ ánh sáng nằm
trong vùng nhìn thấy của mắt người. Phương pháp chế tạo đơn giản dưới dạng
các lớp màng mỏng, không cần nhiệt độ cao cũng như bền vững với các điều
kiện của môi trường.
Vật liệu đầu tiên được sử dụng làm chất phát quang là PPP với ánh sáng
phát ra có bước sóng thuộc vùng ánh sáng màu xanh (460nm). PPP có ưu thế
là dễ dàng điều khiển được các tính chất phát quang thông qua quá trình điều
Trang 25