Xây dựng hệ tạo màng bán dẫn bằng phương pháp phun tĩnh điện đề tài NCKH QT 01 02 pdf
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (2.38 MB, 6 trang )
ĐẠI HỌ C Q U Ố C GIA HÀ NỘI
T R Ư Ờ N G ĐẠI HỌC K H O A HỌC T ự N HIÊN
Đ Ể TÀI
XÂY DỰNG HỆ T 60 MÀNG BÁN Dấn
BỒNG PHƯƠNG PHÁP PHUN TĨNH ĐIỆN
IĩlIILDIN(ỉ
a
SYSTEM TO PREPARE SE M IC OND UC TIN G THIN FILMS
USING T H E ELECTROSTATI C SPRAY PYROLYSIS T E C H N I Q U E
MẴ SỐ: QT 01 - 02
Chủ trì đê tài:
TS. LÊ H Ổ N G HÀ
H.'-- —
•
T' J,M■"Tií. Tri;j Vi[*N
N■~DT/ o c m
HÀ NÔI - 2002
:.
B. PH Ầ N CHÍNH CỦA BÁO CẢO
M Ụ C LỤC
trang
I. MỞ Đ Ầ U ...........................................................................................-...... 6
1.1. Giới thiệu về phương pháp phun tĩnh đ i ệ n ....... .....................— 6
1 .2 . Ưu việt của phương pháp phun tĩnh đ iện ----------------------------- 6
II. PHƯƠNG PH ÁP P HUN TĨ N H Đ I ÊN .............................................................. 7
2.1. Sơ đồ khối và nguyên lý hoạt đ ộ n g ----------------------------- ------7
2.2. Các quá (lình liên quan đến tạo m à n g --------------------------------8
2.3. Ảnh hưởng của một số yếu tố lên chấl lượng m à n g ------------ 9
2.3.1. Nguồn cao áp ----------------------------------------------------------------- 9
2.3.2. Kim p hun--------------------------------------- -------------------------------ọ
2.3.3. Hệ ESD cải tiến----------------------------------------------------------- 10
2.4. Giới thiệu về hệ c h ế tạo-------------------------------------------------- I I
III. C H Ế TẠ O VÀ NG H IÊ N
c ứ u M Ộ T s ố TÍNH CH ẤT CỦA
M ÀN G Z n O ......................................... ............................. ........... .................. 12
3.1. C h ế tạo------------------------------------------------------------------------- 12
3.2. Một số tính chất của màng Z n O ------------------------------------- í 2
3 . 2 . 1. Nghiên cứu cấu trúc------------------------------------------------------ 12
3.2.2. Huỳnh quang của mẫu Z n O ------------------------------------------ 14
KKT L U Ậ N ..................................................................................................................... 14
TẢI L IỆ U T H A M K H Ả O ....................................................................................... 15
PHỤ L Ụ C .....................
................................................................................... 16
5
A. BÁO CÁO TÓM TẮT
ĐỂ TAI
XẢY D Ụ N G H Ệ T Ạ O M À N G B Á N DAN
B Ằ NG PH Ư Ơ NG PH ÁP PH UN T ĨN H ĐIÊN
MẢ SỐ: QT 01 - 02
Chủ trì đ ê tài:
TS. LẼ HỒN G MA
Cán bô p h ô i hop:
PGS.TS. N G U Y Ễ N N G O C LONG
TS. LÊ THỊ T H A N H BÌNH
CN. TRẦN VĨNH T H Ắ N G
1. Mục tiêu và nội (lung nghiên CÚÌI
1.1. Mục tiêu
- Xây (lựng hộ chc lạo vật liệu băng phương pháp plum lĩnh điện
- Chê tạo vật liệu màng mong bán dẫn, diện môi
N g h i ê n c ứ u m ộ t sô t ín h clìâl VỘI lý cìm v;)t liệu c h ê tạo.
1.2. Nội (lung
- Tliiếl kê và xây dựng hệ phun bãnsi plurơntỊ pháp phun linh điện
cao áp đê chê tạo các vậl liệu bán dẫn. điện mòi
L;il ráp bộ không ché nhiệt dỏ
Cliố lạo màng ZnO. ZnO : E l , ZnO : In
Nghiên cứu mội sô ván dế cua vật liệu chè tạo:
+ Ch ế độ lạo màntĩ
+ Câu í rúc tĩnh the cua màng ZnO
+ Tínli chất quang cùa màng ZnO
2. Các kết quá đạt được
Hoàn thành ihiêl kê và chê tạo hệ phun lình diện cao áp
- Chè lạo màng ZnO. Nghicn cứu mộl sò lính chái
I I lie cua màng đó
1
lướng đan 2 luận van cứ nhan
và cãu
1 b á o c á o k h o a h ọ c lại: Hội n g h ị V ậ l iý C h ấ t ran t o á n LỊIIóc hill
-
thứ III - Nhu Trang, 8 - 10/X/200I
1 hài báo uưi dăng tai tạp chí Physica Status Soliili.
3. Tình hình kỉnh phí của đề tỉii
ơ. Kinh p h í được cấp:
9.000.000 đ (chín Iriệu dồng Việt Nam)
h. Chi:
1. Văn phòng phẩm
2. T hu ê khoán chuyên môn
3. T huê khoán lắp láp xfly dựng hệ
4. v ạ t lư, hoá chất
5. Q uản lý hành chính
6 . Hội nghị, hội thảo, côn g lác phí
567.000 đ
4.000.000(1
2.081.000(1
R54.000cl
360.000(1
1.138.0UUd
T ổn g cộng:
9.000.000 (1
(chín triệu đồng Việt Nam )
C l l ủ TRÌ ĐỂ TÀI
(Ký V?1 ghi lõ liọ (cMi)
XÁC NHẬN CỦA
HAN CHÙ NHIỆM KHOA VẬT LÝ
(Ký Víì ghi lõ liọ tên)
Ọ
\'M- 5 ^
O '
ĩ s. u ĩ ỉ ồng lì à
■ì
XÁC NHẬN CỦA
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA n ọ c T ự NHIÊN
2
BR IE F O F T H E P R O J E C T
B U IL D IN G A S Y S T E M TO P R E P A R E
S E M I C O N D U C T I N G T H IN FIL M S U S I N G T H E
E L E C T R O S T A T I C SPR A Y P Y R O L Y S I S T E C H N I Q U E
T H E C O D E N U M B E R : Q T 01 - «2
The Coordinator:
DR. LE HONG HA
The participants o f the project:
ASSOC. PROF. DR. N G U Y E N N G O C LONG
DR. L E T H I T H A N H BINII
BSC. T R A N VINI-I T H A N G
1. Pur pose and contens and of the works
1.1. Purpose
- Building an electrostatic spray deposition system and
temperature controller system
- Preparating thin films of semiconductors and insulators
- Studying some physical properties of thin films deposited by ;
electrostatic spray pyrolysis method.
1.2. Contens
- Building an elcclroslalic spray deposition system lor the
preparation semiconducting and insulating thin films
- Building a guide heater with temperature controller.
- Piepiiraling thill films ZnO
- Sliuiyiim some properties of thin films deposited by an
electrostalic spray pyrolysis method.
Activities and results
- Building an electrostatic spray deposition system for the
preparation of semiconducting and insulating thin films
- Preparating and investigating some structural and optical
properties of ZnO thin films
- Training 2 graduated s t u d e n t s for Materials science
- The scientific work havs been reported in the Workshop: ” The
3rd National Workshop on Physics of Solid State, Nha Tranẹ.
August 8 - 1 0 , 2001”
- The other one has been submitted to Journal of Physica Status
Solidi.
