Phún xạ phần 2 docx
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1.3 MB, 10 trang )
11
11
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
H
H
ệ
ệ
th
th
ố
ố
ng ph
ng ph
ó
ó
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n c
n c
ả
ả
i ti
i ti
ế
ế
n cho ph
n cho ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Các thông số công nghệ
thường dùng:
Chân không: 10
-7
torr
Áp suất hơi Ar: 1 – 5 mtorr
Điện áp: 500 – 1000 V
(một chiều hay xoay chiều
tần số radio)
12
12
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
h
h
ó
ó
a h
a h
ọ
ọ
c
c
Trong qu
Trong qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh ph
nh ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
, m
, m
ộ
ộ
t hay nhi
t hay nhi
ề
ề
u th
u th
à
à
nh ph
nh ph
ầ
ầ
n c
n c
ủ
ủ
a v
a v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u
u
m
m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
t
t
ồ
ồ
n t
n t
ạ
ạ
i dư
i dư
ớ
ớ
i d
i d
ạ
ạ
ng c
ng c
á
á
c ion/t
c ion/t
ổ
ổ
h
h
ợ
ợ
p mang đi
p mang đi
ệ
ệ
n v
n v
à
à
đư
đư
ợ
ợ
c v
c v
ậ
ậ
n chuy
n chuy
ể
ể
n b
n b
ở
ở
i đi
i đi
ệ
ệ
n trư
n trư
ờ
ờ
ng. T
ng. T
ạ
ạ
i không gian g
i không gian g
ầ
ầ
n/t
n/t
ạ
ạ
i b
i b
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t đ
t đ
ế
ế
,
,
c
c
á
á
c th
c th
à
à
nh ph
nh ph
ầ
ầ
n đ
n đ
ó
ó
tham gia ph
tham gia ph
ả
ả
n
n
ứ
ứ
ng h
ng h
ó
ó
a h
a h
ọ
ọ
c v
c v
ớ
ớ
i c
i c
á
á
c th
c th
à
à
nh ph
nh ph
ầ
ầ
n
n
kh
kh
á
á
c s
c s
ẵ
ẵ
n c
n c
ó
ó
hay c
hay c
ũ
ũ
ng đư
ng đư
ợ
ợ
c v
c v
ậ
ậ
n chuy
n chuy
ể
ể
n t
n t
ớ
ớ
i đ
i đ
ể
ể
t
t
ạ
ạ
o th
o th
à
à
nh v
nh v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u cu
u cu
ố
ố
i
i
c
c
ù
ù
ng v
ng v
à
à
l
l
ắ
ắ
ng đ
ng đ
ọ
ọ
ng trên b
ng trên b
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t đ
t đ
ế
ế
.
.
C
C
ầ
ầ
n đ
n đ
ể
ể
ý t
ý t
ớ
ớ
i hi
i hi
ệ
ệ
n tư
n tư
ợ
ợ
ng ăn mòn
ng ăn mòn
(r
(r
ỉ
ỉ
) d
) d
o môi trư
o môi trư
ờ
ờ
ng kh
ng kh
í
í
.
.
13
13
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
m
m
ộ
ộ
t chi
t chi
ề
ề
u (DC) v
u (DC) v
à
à
xoay chi
xoay chi
ề
ề
u t
u t
ầ
ầ
n s
n s
ố
ố
radio (RF)
radio (RF)
14
14
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
d
d
ù
ù
ng s
ng s
ú
ú
ng magnetron
ng magnetron
15
15
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
S
S
ú
ú
ng magnetron thương m
ng magnetron thương m
ạ
ạ
i
i
16
16
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Magnetron công nghi
Magnetron công nghi
ệ
ệ
p d
p d
ạ
ạ
ng tròn (tr
ng tròn (tr
á
á
i) v
i) v
à
à
ph
ph
ẳ
ẳ
ng (ph
ng (ph
ả
ả
i)
i)
17
17
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Chuy
Chuy
ể
ể
n đ
n đ
ộ
ộ
ng c
ng c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c đi
c đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
trong s
trong s
ú
ú
ng magnetron
ng magnetron
18
18
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Đư
Đư
ờ
ờ
ng s
ng s
ứ
ứ
c t
c t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng
ng
19
19
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
c
c
ủ
ủ
a s
a s
ự
ự
r
r
ỉ
ỉ
(
(
ăn mòn
ăn mòn
) bia
) bia
20
20
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
ả
ả
i thi
i thi
ệ
ệ
n vi
n vi
ệ
ệ
c s
c s
ử
ử
d
d
ụ
ụ
ng bia
ng bia
