Thiết kế, chế tạo thiết bị chức năng nhúng phủ

Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1.23 MB, 48 trang )

Trang 1<div class="page_container" data-page="1">

PHIẾU GIAO ĐỀ TÀI

NHẬN XÉT CỦA GIẢNG VIÊN HƯỚNG DẪN

</div>Trang 2<div class="page_container" data-page="2">

LỜI NÓI ĐẦU

Trong bối cảnh phát triển mạnh mẽ của ngành vật liệu và cơng nghệ hóa học, việc nghiên cứu và chế tạo các màng mỏng có vai trị quan trọng. Những ứng dụng của màng mỏng lan tỏa khắp các lĩnh vực như điện tử, quang học, năng lượng mới, y sinh, và nhiều lĩnh vực khác. Tuy nhiên, để đạt được những tiến bộ trong nghiên cứu và phát triển các màng mỏng, cần có những thiết bị chuyên dụng, hiện đại và linh hoạt.

Nhận thức được tầm quan trọng này, chúng em dưới sự hướng dẫn của Thầy... đã

xây dựng một hệ thống phủ nhúng tiên tiến, nhằm tạo ra một nền tảng vững chắc cho việc học tập, nghiên cứu và phát triển các loại màng mỏng bằng phương pháp phủ nhúng. Hệ thống này được thiết kế dựa trên cơ chế trục vít hiện đại, cho phép đế dịch chuyển lên xuống một cách tịnh tiến với tốc độ điều chỉnh linh hoạt. Điều này mở ra khả năng thực hiện phủ nhiều loại màng khác nhau trong các hoạt động học tập và nghiên cứu.

Ngoài ra, hệ thống được tích hợp một hệ quay nghiêng đặc biệt, giúp điều chỉnh góc nghiêng của đế trong quá trình phủ màng. Tính năng này đóng vai trị quan trọng trong việc tăng cường độ đồng đều của lớp màng, đảm bảo chất lượng và tính ổn định của sản phẩm. Các thông số then chốt như tốc độ nhúng, số lần nhúng và góc nhúng được kiểm sốt một cách chính xác bằng phần mềm điều khiển chạy trên máy vi tính, cho phép người dùng dễ dàng tối ưu hóa q trình phủ màng.

Sản phẩm cuối cùng của đề tài này là một hệ thống phủ nhúng hồn chỉnh, bao gồm thiết bị phủ và chương trình điều khiển có giao diện thân thiện với người dùng. Những nghiên cứu này sẽ phục vụ cho nhiều lĩnh vực khác nhau như vật liệu học, cơng nghệ hóa học và vật lý quang học, góp phần thúc đẩy sự phát triển của các ngành khoa học và công nghệ tiên tiến tại Việt Nam.

Bên cạnh đó, với khả năng vận hành linh hoạt và hiệu quả, hệ thống sẽ cung cấp một môi trường thực hành và nghiên cứu chuyên sâu, giúp nâng cao chất lượng đào tạo và phát triển nguồn nhân lực chất lượng cao trong lĩnh vực này. Sự kết hợp giữa thiết bị hiện đại và phần mềm thân thiện sẽ tạo điều kiện thuận lợi cho sinh viên trong việc tiếp cận, thực hành và làm chủ công nghệ phủ nhúng một cách toàn diện.

</div>Trang 3<div class="page_container" data-page="3">

MỤC LỤC

PHIẾU GIAO ĐỀ TÀI...1

NHẬN XÉT CỦA GIẢNG VIÊN HƯỚNG DẪN...1

LỜI NÓI ĐẦU...2

3. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu đề tài...9

4. Tóm tắt nội dung của đề tài...10

5. Phương pháp nghiên cứu...10

Chương 1...11

TỔNG QUAN VỀ THIẾT BỊ NHÚNG PHỦ...11

1.1 Khái niệm về phương pháp nhúng phủ...11

1.1.1 Khái niệm chung...11

1.1.2 Phương pháp nhúng phủ sol-gel trong chế tạo màng mỏng...11

1) Lịch sử phát triển...11

2) Các khái niệm mở đầu...11

3) Các q trình chính xảy ra trong sol-gel...12

4) Phản ứng thủy phân...13

5) Phản ứng ngưng tụ...13

6) Sự phát triển cấu trúc tinh thể trong quá trình gel hóa...14

7) Ưu điểm và nhược điểm của q trình sol-gel...15

</div>Trang 4<div class="page_container" data-page="4">

2.1 Yêu cầu của đề tài...26

2.2 Thiết kế, tính tốn lựa chọn thiết bị...26

2.2.1 Loại mẫu sử dụng thí nghiệm...26

2.2.2 Thiết kế, tính tốn và lựa chọn cơ cấu thực hiện truyền động...26

1) Giới thiệu về động cơ step...26

2) Giới thiệu driver TB6600...29

2.2.3 Thiết kế, tính toán và lựa chọn giá giữ mẫu, khung, kẹp mẫu...32

1) Lựa chọn cơ cấu chuyển động...32

2.2.4 Thiết kế, tính tốn và lựa chọn điều khiển truyền động...33

2.2.5 Thiết kế bộ phận gia nhiệt...40

2.2.6 Thiết kế, lựa chọn khối hiển thị và giám sát...40

1) Thiết bị hiển thị...40

2) Thiết bị theo dõi...42

a)Kích thước cảm biến Pt100...43

b) Dạng Pt100 máy dây...43

c) Dãy đo của cảm biến Pt100...44

</div>Trang 6<div class="page_container" data-page="6">

DANH MỤC HÌNH ẢNH

</div>Trang 7<div class="page_container" data-page="7">

DANH MỤC BẢNG BIỂU

</div>Trang 8<div class="page_container" data-page="8">

DANH MỤC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT

</div>Trang 9<div class="page_container" data-page="9">

MỞ ĐẦU

1. Tính cấp thiết của đề tài

Một trong những thành tựu quan trọng nhất của tiến bộ khoa học kỹ thuật là tự động hóa sản xuất. Nó cho phép nâng cao độ chính xác gia công, đồng thời cũng rút ngắn được thời gian sản xuất, giảm sức lao động, tăng cao năng suất và an toàn lao động, mang lại hiệu quả kinh tế. Chính vì vậy ở nước ta hiện nay và nhiều nước trên thế giới đã và đang ứng dụng rộng rãi các dây chuyền sản xuất tự động vào hầu hết các lĩnh vực sản xuất. Để đáp ứng yêu cầu của xã hội cần có nhiều kỹ sư có chun mơn về điện tử cơng suất, nhiều trường học đã và đang giảng dạy điện tử công suất và truyền động điện cho sinh viên ngành kỹ thuật.

Một thực tế hiện nay là trong khi các doanh nghiệp trên thị trường sử dụng khá phổ biến các thiết bị, máy móc tự động vào sản xuất công nghiệp để nâng cao năng suất cũng như chất lương sản phẩm. Nhưng tại khoa Điện – Điện Tử của trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật Hưng Yên lại chưa có mơ hình các mơ đun thực tập thiết bị nhúng phủ tự động.

Xuất phát từ những nhu cầu như vậy, nhóm em dưới sự hướng dẫn của thầy

……… đã lựa chọn đề tài tốt nghiệp là: “Nghiên cứu, thiết kế chế tạo thiết bị nhúng phủ tự động”.

2. Mục đích của đề tài

- Mục đích:

+ Nghiên cứu, thiết kế chế tạo thiết bị nhúng phủ tự động đáp ứng yêu cầu đào tạo cho sinh viên chun ngành tự động hóa cơng nghiệp trong các trường kỹ thuật.

+ Giúp cho sinh viên đáp ứng tốt công việc trong thực tế sau khi tốt nghiệp. + Giá thành rẻ, phù hợp với điều kiện học tập cũng như điều kiện kinh tế của các trường nếu muốn nhân rộng mơ hình phục vụ đào tạo nhưng vẫn phải đảm bảo tính thẩm mỹ, kỹ thuật và ứng dụng được trong lĩnh vực đào tạo.

</div>Trang 10<div class="page_container" data-page="10">

3. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu đề tài

- Đối tượng nghiên cứu của đề tài:

+ Nghiên cứu chế tạo ra mơ hình nhúng phủ tự động. + Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài.

+ Thay đổi thời gian nhúng cũng như hành trình nhúng

.

4. Tóm tắt nội dung của đề tài

- Mở đầu: GIỚI THIỆU CƠ SỞ LÝ LUẬN ĐỀ TÀI - Chương 1 TỔNG QUAN VỀ THIẾT BỊ NHÚNG PHỦ

- Chương 2 THIẾT KẾ, CHẾ TẠO THIẾT BỊ CHỨC NĂNG NHÚNG PHỦ - Chương 3 XÂY DỰNG CHƯƠNG TRÌNH ĐIỀU KHIỂN, KHẢO SÁT VÀ ĐÁNH GIÁ

- KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN CỦA ĐỀ TÀI

5. Phương pháp nghiên cứu

Để hoàn thành nội dung đồ án nhóm nghiên cứu đã áp dụng những phương pháp sau:

- Khảo sát đánh giá thiết bị hiện có. - Tìm và phân tích tài liệu.

- Sử dụng phương pháp thực nghiệm.

- Trao đổi kinh nghiệm và kiến thức với các thầy cô và các bạn sinh viên khác.

</div>Trang 11<div class="page_container" data-page="11">

Chương 1

TỔNG QUAN VỀ THIẾT BỊ NHÚNG PHỦ

1.1 Khái niệm về phương pháp nhúng phủ

1.1.1 Khái niệm chung

Phương pháp sol-gel là một kỹ thuật hóa học ướt để tổng hợp các vật liệu từ các phần tử huyền phù dạng keo rắn (precursor) trong chất lỏng (sol), để hình thành một nguyên liệu (gel) lưỡng pha của bộ khung chất rắn chứa đầy dung môi.

1.1.2 Phương pháp nhúng phủ sol-gel trong chế tạo màng mỏng

1) Lịch sử phát triển

Vào khoảng giữa năm 1800, có những quan tâm về phương pháp sol-gel để tạo gốm sứ và kính, được bắt đầu với Ebelman và Graham khi nghiên cứu về gel Silic. Trong những năm từ 1950 đến 1960, Roy và các cộng tác đã sử dụng phương pháp sol-gel để tạo ra gốm sứ mới với thành phần là các đồng chất hóa học, bao gồm: Si, Al, Zr, …. mà không sử dụng phương pháp gốm truyền thống. Bột, sợi, màng và thấu kính quang học thì được tạo bởi phương pháp sol-gel.

2) Các khái niệm mở đầu

Một hệ sol là một sự phân tán của các hạt rắn có kích thước khoảng từ 1nm đến 1000nm trong một chất lỏng, trong đó:

- Chỉ có chuyển động Brown làm lơ lửng các hạt. - Lực tương tác giữa các hạt là lực Val der Waals.

- Sol có thời gian bảo quản giới hạn vì các hạt sol hút nhau dẫn đến đông tụ các

</div>Trang 12<div class="page_container" data-page="12">

Các precursor có thể là chất vơ cơ kim loại hay hữu cơ kim loại, với công thức chung là M(OR)x, với M là kim loại, R là nhóm alkyl có cơng thức là CnH2n+1.

Những chất hữu cơ kim loại được sử dụng phổ biến nhất là các alkoxysilans, như là Tetramethoxysilan-TMOS (Si(OCH3)4),Tetraethoxysilan- TEOS Si(OC2H5)4. Dĩ nhiên, những alkoxy khác như là các Aluminate, Titanate và Borat cũng được sử dụng phổ biến trong các quá trình sol-gel, thường là trộn với TEOS.

3) Các q trình chính xảy ra trong sol-gel

Trong quá trình chuyển tiếp sol-gel, các phần tử trung tâm trải qua hai phản ứng hóa học cơ bản: phản ứng thủy phân và phản ứng ngưng tụ để hình thành một mạng lưới trong tồn dung dịch; vì hai phản ứng này có bản chất của một phản ứng axit-bazơ nên có thể điều chỉnh tốc độ của quá trình thủy phân, quá trình ngưng tụ với xúc tác axit hoặc bazơ.

Các giai đoạn trong phương pháp sol-gel:

- Tạo dung dịch sol: alkoxide kim loại bị thủy phân và ngưng tụ, tạo thành dung dịch sol gồm những hạt oxyt kim loại nhỏ (hạt sol) phân tán trong dung dịch sol. Dung dịch có thể được dùng phủ màng bằng các phương pháp như: phủ nhúng, phủ quay,….

- Gel hóa (gelation): giữa các hạt sol hình thành liên kết. Độ nhớt của dung dịch tiến ra vô hạn do có sự hình thành mạng lưới oxyt kim loại (M-O-M) ba chiều trong dung dịch.

- Định hình (aging): chủ yếu làm thay đổi gel có dạng cluster-cluster và chi phối bởi hiệu ứng “Ostwald Ripening”.

- Sấy (drying): làm bay hơi dung mơi thốt ra khỏi các ống mao dẫn của bộ khung rắn, là giai đoạn gây ra các ứng suất bên trong vật liệu và gây nứt.

- Thiêu kết (sintering): đây là quá trình kết chặt khối mạng, được điều khiển bởi năng lượng phân giới. Thông qua quá trình này gel sẽ chuyển từ pha vơ định hình sang pha tinh thể dưới tác dụng của nhiệt độ cao.

Trong tồn bộ q trình, hai phản ứng thuỷ phân-ngưng tụ là hai phản ứng quyết định cấu trúc và tính chất của sản phẩm sau cùng. Do đó, việc kiểm soát tốc độ phản ứng thuỷ phân-ngưng tụ trong phương pháp sol-gel là rất quan trọng.

</div>Trang 13<div class="page_container" data-page="13">

4) Phản ứng thủy phân

Phản ứng thủy phân thay thế nhóm alkoxide (-OR) trong liên kết kim loại-alkoxide bằng nhóm hydroxyl (-OH) để tạo thành liên kết kim loại- hydroxyl.

Hình 1.1 Phản ứng thủy phân.5) Phản ứng ngưng tụ

Phản ứng ngưng tụ tạo nên liên kết kim loại-oxyt-kim loại, là cơ sở cấu trúc cho các màng oxyt kim loại. Hiện tượng ngưng tụ diễn ra liên tục làm cho liên kết kim kim loại không ngừng tăng lên cho đến khi tạo ra một mạng lưới kim loại-oxyt-kim loại trong toàn dung dịch. Phản ứng ngưng tụ diễn ra theo hai dạng:

</div>Trang 14<div class="page_container" data-page="14">

Hình 1.2 Phản ứng ngưng tụ.6) Sự phát triển cấu trúc tinh thể trong q trình gel hóa

Sol chỉ tồn tại trong một khoảng thời gian. Đến một thời điểm nhất định thì các hạt hút lẫn nhau để trở thành những phần tử lớn hơn. Các phần tử này tiếp tục phát triển đến kích thước cỡ 1nm thì tùy theo xúc tác có mặt trong dung dịch mà phát triển theo những hướng khác nhau.

Hình 1.3 Sự phát triển cấu trúc tinh thể trong điều kiện xúc tác axit.

Dưới điều kiện xúc tác axit hạt sẽ phát triển thành polymer mạch nhánh ngẫu nhiên hoặc mạch thẳng cơ bản, đan xen vào nhau.

</div>Trang 15<div class="page_container" data-page="15">

Hình 1.4 Sự phát triển cấu trúc tinh thể trong điều kiện xúc tác bazơ.

Dưới điều kiện xúc tác baz các hạt phát triển thành các cluster phân nhánh ở mức độ cao nhiều hơn, không xen vào nhau trước khi tạo thành Gel, chúng thể hiện như những cluster riêng biệt.

Như vậy, với các loại xúc tác khác nhau, chiều hướng phát triển của hạt sol cũng có phần khác biệt.

Sự phát triển của các hạt trong dung dịch là sự ngưng tụ, làm tăng số liên kết Kim loại-Oxide-Kim loại tạo thành một mạng lưới trong khắp dung dịch.

</div>Trang 16<div class="page_container" data-page="16">

Hình 1.5 Sự phát triển cấu trúc màng trong quá trình sol-gel.7) Ưu điểm và nhược điểm của quá trình sol-gel

a) Ưu điểm

- Tạo ra màng phủ liên kết rất tốt giữa vật liệu kim loại và màng - Tạo ra màng dày cung cấp cho quá trình chống sự ăn mịn. - Dễ dàng tạo hình các vật liệu có hình dạng phức tạp. - Sản suất những sản phẩm có độ tinh khiết cao.

- Khả năng thiêu kết ở nhiệt độ thấp, thường là 2000C – 6000C. - Có thể điều khiển các cấu trúc vật liệu.

- Tạo được hợp chất với độ pha tạp lớn. - Độ khuếch tán đồng đều cao.

- Chế tạo nano thay đổi thành phần dễ.

- Vì màng được chế tạo đơn giản ở nhiệt độ thấp nên mang lại hiệu quả kinh tế cao.

- Ưu điểm nổi trội nhất của phương pháp sol-gel là khả năng chế tạo được những vật liệu mới có cấu trúc xốp đồng đều.

b) Nhược điểm

- Tiêu hao nhiều nguyên liệu trong quá trình tạo màng. - Giá nguyên liệu khá cao.

- Liên kết trong màng yếu.

- Vì vật liệu xốp nên có độ thẩm thấu cao. - Rất khó điều khiển độ xốp.

- Dễ bị rạn nứt trong quá trình xử lý nhiệt.

1.2 Các ứng dụng hiện nay

Phương pháp sol-gel được sử dụng rộng rãi trong chế tạo và nghiên cứu vật liệu oxyt kim loại tinh khiết. Những nghiên cứu của phương pháp sol-gel chủ yếu là chế tạo

</div>Trang 17<div class="page_container" data-page="17">

gel khối SiO2 (silica) và sau đó mở rộng chế tạo các oxyt kim loại chuyển tiếp khác như TiO2 (titania), ZrO2 (zirconia),… Hiện nay, phương pháp sol-gel đã thành công trong việc chế tạo vật liệu oxyt đa thành phần (multicomponent oxyt: SiO2-TiO2, TiO2:SnO2…) và chế tạo vật liệu lai hữu cơ-vô cơ (hybrid materials).

</div>Trang 18<div class="page_container" data-page="18">

Hình 1.6 Các nhóm sản phẩm của phương pháp sol-gel.

Các nhóm sản phẩm chính từ phương pháp sol-gel, được mơ tả trong hình 1.6, bao gồm:

- Màng mỏng: Chế tạo màng mỏng có cấu trúc đồng đều với nhiều ứng dụng trong quang học, điện tử, pin mặt trời,…

- Gel khối: Được sử dụng để chế tạo các oxyt đa kim loại các dụng cụ quang học: gương nóng (hot mirror), gương lạnh (cold mirror), thấu kính và bộ tách tia (beam splitter),…

- Gel khí: Thu được bằng cách sấy siêu tới hạn gel ướt (wet gel). Gel khí có ứng dụng trong nhiều lãnh vực: hấp thụ năng lượng mặt trời (silica aerogel), xúc tác (alumina (Al2O3) aerogel có pha tạp kim loại), chất cách điện và cách nhiệt (silica aerogel),…

- Hạt nano: Đơn thành phần và đa thành phần có kích thước đồng đều có thể thu được bằng cách tạo kết tủa trong giai đoạn thủy phân - ngưng tụ.

- Sợi ceramic: Sợi quang chất lượng cao và sợi ceramic cách nhiệt.

</div>Trang 19<div class="page_container" data-page="19">

1.3 Phân loại và cấu trúc chung một thiết bị nhúng phủ

1.3.1 Phủ nhúng

Phương pháp phủ nhúng là một cách nhúng đế hoàn toàn vào trong dung dịch phủ và sau đó được kéo lên với một tốc độ thích hợp trong điều kiện nhiệt độ và áp suất khơng đổi.

Q trình phủ nhúng gồm năm giai đoạn chính, xem hình 1.7:

- Giai đoạn 1: Đế được nhúng vào dung dịch với tốc độ nhúng không đổi. Giai đoạn 2: Đế được nhúng vào dung dịch và để trong một lúc.

- Giai đoạn 3: Đế được kéo lên với tốc độ kéo khơng đổi, đồng thời hình thành lớp phủ ướt trên bề mặt đế.

- Giai đoạn 4: Trong khi kéo đế ra khỏi dung dịch với tốc độ kéo không đổi, dung dịch dư thừa sẽ chảy ra khỏi bề mặt đế.

- Giai đoạn 5: Sự bay hơi dung mơi dẫn đến sự gel hóa của dung dịch sol trên bề mặt đế và lớp màng được hình thành.

Hình 1.7 Năm giai đoạn trong quá trình phủ nhúng.

</div>Trang 20<div class="page_container" data-page="20">

Theo Landau và Levich[4], độ dày màng phủ được tính như sau:

Hình 1.8 Độ dày màng được xác định khi có sự cân bằng tại điểm chuyển tiếp S

Giữa độ nhớt kéo



 v / h



, trọng lực



 gh



và sức căng bề mặt lỏng-hơi





LV



của dung dịch. Tuy phương pháp phủ nhúng không phức tạp nhưng phương pháp này có một nhược điểm là độ dày màng khơng đồng đều, bởi vì lớp dung dịch bên trong di chuyển lên cùng với đế và lớp bên ngồi có xu hướng trơi xuống. Nhược điểm này có thể được cải thiện bằng cách nhúng đế cần phủ theo một góc nghiêng.

1.3.2 Phủ chảy dịng

</div>Trang 21<div class="page_container" data-page="21">

Hình 1.9 Mơ hình của phương pháp phủ chảy dịng.

Độ dày màng phụ thuộc vào góc nghiêng của đế, độ nhớt của dung dịch phủ và tốc độ bay hơi của dung môi. Phương pháp phủ chảy hiện nay chủ yếu được sử dụng phủ các trang thiết bị bằng thủy tinh của xe ôtô.

1.3.3 Phủ quay

Phương pháp phủ quay được mơ tả trong hình 1.10. Dung dịch sol được nhỏ giọt lên đế và cho đế quay. Dưới tác dụng của lực ly tâm, dung dịch sẽ lan đều trên đế và tạo thành màng mỏng.

Hình 1.10 Bốn giai đoạn của phương pháp phủ quay.

Quá trình phủ quay gồm bốn giai đoạn chính xảy ra tiếp nối nhau, xem hình 1.10

</div>Trang 22<div class="page_container" data-page="22">

- Giai đoạn 1: dung dịch được nhỏ giọt lên đế. Lượng dung dịch sử dụng thường nhiều hơn lượng dung dịch cần thiết hình thành màng.

- Giai đoạn 2: đế được gia tốc góc đến một tốc độ quay cần thiết. Trong quá trình này, một phần dung dịch bị văng ra khỏi đế.

- Giai đoạn 3: đế quay đạt tốc độ không đổi và dung dịch tiếp tục lan chảy trên đế dưới tác dụng của lực ly tâm. Trong quá trình này, độ nhớt ảnh hưởng lên đặc tính của màng. Do đó, độ dày màng phụ thuộc vào tốc độ quay của đế và độ nhớt của dung dịch.

- Giai đoạn 4: đế tiếp tục quay với tốc độ không đổi cùng với sự bay hơi của dung mơi và dịng chảy nhớt giảm đáng kể bởi độ nhớt của dung dịch tăng lên. Song song đó là sự gel hóa dung dịch sol trên bề mặt đế. Do đó, độ dày màng còn phụ thuộc vào tốc độ bay hơi của dung mơi.

Theo Mayerhofer, độ dày màng được tính theo công thức sau:

</div>Trang 23<div class="page_container" data-page="23">

1.3.4 Phủ phun

Phương pháp phủ phun được sử dụng rộng rãi trong công nghiệp sơn dầu. Thiết bị bao gồm một súng phun được gắn với vịi phun áp suất thấp, xem hình 1.5, dung dịch lớp phủ được đổ vào bình chứa sau đó được phun trực tiếp lên đế.

Hình 1.11 Thiết bị phủ phun cầm tay.

1.4 Các thiết bị nhúng phủ

Bộ thiết bị này của hang Holmarc được thiết kế dựa theo hành trình lên xuống của trục vitme với màn hình hiện thơng số và bàn phím nhập để thay đổi kiểu nhúng cho phùn hợp với nhiều sản phẩm khác nhau.

Hình 1.12 Bộ thiết bị phủ nhúng số hiệu HO-TH-02 của hãng Holmarc[5]. Thông số tốc độ nhúng từ2micron/sec đến 9000micron/sec với sáu mức điều chỉnh tốc độ. Hành trình là 150mm.

</div>Trang 24<div class="page_container" data-page="24">

Hình 1.13 Các thiết bị phủ nhúng của hãng KSV NIMA[6].

Hình 1.14 Bảng thơng số kỹ thuật của hệ thống phủ nhúng một cốc, cung cấp bởi hãng KSV NIMA.

</div>